Administracija Paviršių ir plonasluoksnių darinių mokslo laboratorija Mikrolitografijos mokslo laboratorija Vakuuminių procesų mokslo laboratorija Fizikinės ir cheminės analizės mokslo laboratorija Technologijų plėtros mokslo laboratorija Techninis personalas Administracija       Direktorius prof. habil. dr. Sigitas Tamulevičius Direktoriaus pavaduotoja Doc. dr Eglė Fataraitė Administratorė Virginija Sinkevičienė Paviršių ir plonasluoksnių darinių mokslo laboratorija     Laboratorijos vedėjas vyresnysis mokslo darbuotojas dr. Mindaugas Andrulevičius Jaunesnysis mokslo darbuotojas Mindaugas Pucėta Jaunesnysis mokslo darbuotojas doktorantas Tomas Tamulevičius  Mikrolitografijos mokslo laboratorija   Laboratorijos vedėjas vyresnysis mokslo darbuotojas dr. Viktoras Grigaliūnas Vyresnysis mokslo darbuotojas dr. Dalius Jucius Jaunesnioji mokslo darbuotoja Angelė Gudonytė   Vyresnioji mokslo darbuotoja dr. Asta Guobienė Inžinierius Jurijus Čerepanovas   Vakuuminių procesų mokslo laboratorija       Laboratorijos vedėjas vyresnysis mokslo darbuotojas dr. Šarūnas Meškinis Vyresnysis mokslo darbuotojas dr. Kęstutis Šlapikas Jaunesnysis mokslo darbuotojas Vitoldas Kopustinskas Jaunesnysis mokslo darbuotojas dr. Rimantas Gudaitis Jaunesnioji mokslo darbuotoja doktorantė Asta Tamulevičienė Doktorantas Edvinas Navickas     Vyresnysis technikas Albinas Svirskis Inžinierius Andrius Vasiliauskas   Fizikinės ir cheminės analizės mokslo laboratorija     Laboratorijos vedėjas vyresnysis mokslo darbuotojas dr. Igoris Prosyčevas  Vyresn. inžinierius, Valentinas Baltrušaitis Technikė Irina Abelit       Mokslininkė stažuotoja, dr. Renata Jarimavičiūtė-Žvalionienė       Technologijų plėtros mokslo laboratorija     Laboratorijos vedėjas, dr. Pranas Narmontas Vyresnysis inžinierius Vladimiras Čižas Vyresnysis inžinierius Algimantas Juraitis     Technikė Vilija Kuprėnienė     Techninis personalas     Valytoja Janina Stanevičienė